通道数 |
二、三、四、五、六、七、八通道 |
配气精度 |
±1%f.s. |
mfc线性度 |
±0.5%f.s. |
mfc重复精度 |
±0.2%f.s. |
响应时间 |
≤5s |
预热时间 |
≤15min |
通道材料 | 316l 不锈钢 |
进出气口连接气嘴 |
φ6/不锈钢穿板快接头 |
静密封材料 |
氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) |
工作环境温度 |
-20℃~55℃ |
环境湿度 |
(15~85)% rh |
续航设计 |
≥8小时(待机) |
充电时长 |
≤10小时 |
配气稀释比 |
可选1000:1、500:1、300:1、100:1,默认为100:1。 |
*具体量程可能会有细微偏差。
*工作在温度25℃和1013mbar测试数据。